元代後期，統治者逐漸加強了對思想文化的控制。雜劇作家隊伍的成分、境遇、心態有了很大變化。當年的劇壇宿將漸漸老去。新染指雜劇的文人既無前輩們的堅韌老辣、落拓不羈，又無“骨鯁在喉，不吐不快”的壓抑感和緊迫感。他們往往不是從現實生活出發，而是到歷史故事中去尋找題材。不是通過歷史來宣揚愛國主義精神、民族意識和反抗情緒；而是藉歷史表彰、讚美孝夫節婦、忠臣義士、聖主賢臣。愛情婚姻劇的數目也還不少，但多半描寫才子佳人的風流韻事，反封建禮教的主題大大減弱了。與此同時，前期已初露端倪的山林隱逸、神仙道化劇增多了。內在生命力的空疏枯萎導致外部形態的僵化凝滯。元末以後的雜劇，不可避免地染上了因襲模仿、雕琢矯飾之病。
進入明代，統治者大興文字獄，力倡程朱理學，規定“四書”(《大學》、《中庸》、、《孟子》)、“五經”(、《尚書》、、《禮記》、《春秋》)為士子必讀教材，強化八股取士的科舉制度。詩壇上出現了歌功頌德、粉飾太平的“臺閣體”。雜劇創作進一步宮廷化、貴族化。明初的雜劇作家隊伍，主要是藩王朱權(寧獻王)、朱有燉(周憲王)及周圍御用文人。作品主要是神仙慶壽、美人賞花、金童玉女、月令承應之類。少量的水滸戲、妓女戲也被閹割、削弱了積極的社會內容。此期的雜劇代表作是朱有燉的《誠齋樂府》，流行頗廣。
明中葉，王九思、康海、徐渭的出現，為日漸衰頹的雜劇藝術注入了新鮮血液。王九思的《杜子美沽酒游春》借古人酒杯澆心中塊壘，借杜甫之口痛罵時相，“詞氣雄宕〔dang盪〕，固凌厲一時”(王驥德《曲律》)。康海的雜劇《中山狼》取材於馬中錫的寓言小說《中山狼傳》，搬演婦孺皆知的東郭先生救狼卻險些被狼吞吃的故事。據傳有所影射，但客觀效果已遠遠超出作者的創作動機。這齣寓言劇的意義不在於抒一己之憤，或鞭撻某個忘恩負義之人，而在於總結同邪惡勢力鬥爭的經驗教訓。說明對邪惡不能有絲毫的憐憫和慈悲，必須除惡務盡。此劇結構完整，情節緊湊，曲白生動，在典雅駢儷之風籠罩的雜劇劇壇上，顯得十分清新可喜。
徐渭(公元1521—1593年)，字文長，號青藤道人，又號天池生，字畫常署“田水月”，浙江山陰(今紹興)人。他聰穎早慧，才思超逸，放達不羈，蔑視權貴，鄙夷庸俗文士，一生坎坷，被人譽為“曠代奇人”。他“行奇、遇奇、詩奇、文奇、畫奇、書奇，而詞曲尤奇”(磊砢居居士《四聲猿跋》)。他的雜劇《四聲猿》乃“天地間一種奇絕文字”。 (王驥德《曲律》)
《四聲猿》包括四個短劇。其中，《狂鼓吏》演禰衡死後，在陰間受判官之請，重拘曹操之魂，重演生前擊鼓罵曹的情形。禰衡在堂上傲然擊鼓，一一列舉曹操罪狀，痛罵權奸的狠毒、偽善、狡詐、陰險、沉溺聲色、草菅人命、借刀殺人等罪惡。 “其辭如怒龍挾語，騰躍霄漢間”(陳楝《北涇草堂曲論》)，寄託了作家深沉的哀怨和無邊的憤懣。
《玉禪師》將玉通和尚私紅蓮、月明和尚度柳翠兩個故事糅合到一起，在一定程度上揭露了官場與佛門的爾虞我詐，暗含著對宗教思想的挑戰和批判。曲文幽默，令人叫絕。
《雌木蘭》演花木蘭女扮男妝，替父從軍，立功後回鄉，嫁給五郎的故事，塑造了馳騁疆場、殺敵立功的巾幗英雄形象。嫦娥變金剛，金剛變嫦娥的故事非常具有傳奇色彩。
《女狀元》演五代黃崇嘏〔gu古〕女扮男妝，考中狀元。她領袖文苑，不讓鬚眉，並在審案中表現出驚人的才能。劇本熱情歌頌了古代婦女的聰明才智，對重男輕女的傳統思想提出挑戰。
徐渭還寫過《歌代嘯》雜劇(一說託名徐渭)，演李和尚偷了張和尚的帽子，卻讓張和尚去頂替姦情罪。州官奶奶因為吃醋，在後堂放火。老百姓點燈救火卻被處罰。這是一出具有嚴肅思想內容的滑稽鬧劇，通過荒誕的情節、漫畫式的人物，揭露了黑白顛倒的荒謬現實。使“只許州官放火，不許百姓點燈”這句諺語形象化。其嬉笑怒罵、冷嘲熱諷的筆觸，比《四聲猿》更為鋒芒畢露。
徐渭的雜劇不受北雜劇體制的局限，曲不分南北，折可多可少，別開生面，獨樹一幟。其筆力雄健，文辭酣暢，具有濃郁的浪漫主義色彩。湯顯祖稱他為“詞壇飛將”。
除上述三人的雜劇外，梁辰魚的《紅線女》、陳與郊的《昭君出塞》、王衡的《鬱輪袍》和《真傀儡》、徐復祚的《一文錢》、孟稱舜的《桃花人面》、卓人月的《花舫緣》等也都是比較優秀的雜劇。
入清，雜劇進一步衰落，但仍不絕如縷。清初，一批由明入清的文士，借雜劇抒發興亡之感，寄託故國之思。如王夫之的《龍舟會》，吳偉業的《臨春閣》、《通天台》，尤侗的《西堂樂府》(包括《讀離騷》、《吊琵琶》、《黑白衛》、《桃花源》、《清平調》五種雜劇)，都是這類抒情遣憤之作。
乾隆年間，最重要的雜劇作家是楊潮觀(公元1712—1791年)，字宏度，號笠湖，江蘇金匱(今無錫)人。官居四川邛州時，得卓文君妝台舊址，乃建吟風閣，廣徵文人吟詠其間，且令優人搬演自編雜劇於其中，作為紀念，輯為《吟風閣雜劇》四卷，包括32個短小精悍的單折雜劇，大都取材於歷史、神話或當代故事。或歌頌耿介高尚之士.或表揚廉潔儉樸行為，或闡述為官之道，或揭露鞭撻統治者的虛偽、貪婪、霸道，或譴責不義戰爭，大都具有諷喻勸懲作用。他還特地仿照白居易《新樂府》的作法，在每個雜劇前面附上小序，說明創作動機。他的雜劇結構嚴謹，文詞精煉，案頭場上兩得其便。 32個單折劇之中，常為人樂道的有《發倉》、《二郎神》、《罷宴》、《偷桃》、《荀灌娘》等，堪稱清雜劇的壓卷之作。
《發倉》演黃門官汲黯往河東撫卹災民，途經河南，發現當地連年荒歉，百姓忍飢挨餓。驛丞女兒賈王香勸說汲黯從權矯詔，持節發倉，救活了數百饑民。這齣戲真切地描寫了災區黎民百姓的痛苦和官差的兇殘，提倡當官應與民作主，不要唯上是從，而應權宜行事。
《二郎神》演李冰父子擒龍鎮水、為民除害的故事，頌揚了降龍伏虎的英雄二郎神，闡明了人定勝天的道理。
《罷宴》描寫宋代寇準幼年喪父，家境貧寒，靠母親辛勤教養，金榜題名，升任相州節度使，黃封紫誥，夫榮妻貴，忘記了過去清貧節儉的生活。為了給亡母慶壽，盛張筵宴，歌舞連宵，奇珍異寶，堆遍迴廊。老僕劉婆聞信後，故意於廊下哭泣。寇準問其故，劉婆答道：“因過廊下，為蠟燭淚滑倒”，遂憶起當年寇母十指縫補，孤燈課子的苦情。寇準鼻酸耳熱，痛切悔悟，決定即日罷宴。焦循《劇說》雲：“《吟風閣雜劇》中，有寇萊公罷宴一折，淋漓慷慨，音能感人。阮大中丞巡撫浙江，偶演此劇，中丞痛哭，時亦為之罷宴。蓋中丞亦幼貧，太夫人實教之。阮貴，太夫人已下世，故觸之生悲耳。”此劇膾炙人口，一直搬演至今。
《偷桃》演東方朔因飢餓而偷吃了幾顆仙桃，被王母捉住，要將他鞭殺。東方朔卻毫無顧忌，據理反駁，指出：一慣會偷的是神仙，而且偷的不是一般東西，乃日月之精華，乾坤之奧秘。他建議王母不如把滿園仙桃盡都施捨凡間，使大千世界的人都能長生不老，豈不是個大慈大悲大方便？ ！一針見血，痛快淋漓，為被欺壓、被剝削的百姓出了一口氣。
《荀灌娘》演東晉時襄陽被圍，糧援俱斷，太守荀崧無計可施，年僅13歲的荀灌娘為了救國救父，女扮男妝，衝出重圍，到梁州搬取救兵。梁州守將周訪以自顧不暇為名不肯發兵，荀灌娘舌戰守鎮，義責周訪，終於說服了周訪，搬來救兵，殺退敵人，解了襄陽之圍。此劇塑造了一個勇敢、機智、精明的女英雄形象，她那見義勇為、臨危不懼的豪邁氣概為人稱道，閃耀著理想的光輝。
清代雜劇作家大多以寫傳奇為主，兼顧雜劇創作。同一作家的雜劇成就往往低於其傳奇成就，如洪昇的《四嬋娟》，以古代才女和閨中韻事為題材，雖偶有諷世之筆，畢竟沒有太多的社會意義，不能和相比。 “蘇州群”重要成員張大復也寫了一些雜劇，同樣難與他的傳奇媲美。後來，又有唐英的《燈月閒情》雜劇四種，桂馥仿徐渭《後四聲猿》，舒位《瓶笙館修簫譜》雜劇四種等，然而終未能扭轉雜劇日漸衰微的大局。
晚清時期，雜劇創作又出現了小高潮。阿英《晚清戲曲小說目》共收錄雜劇40種，其中有的歌頌民族英雄，有的揭露帝國主義侵華罪行，有的提倡婦女解放，被譽為“慷慨激昂，血淚交迸，為民族文學之偉著，亦政治劇曲之豐碑！”(鄭振鐸《晚清戲曲錄序》)