隋唐時代，佛教經典的傳播和翻譯空前繁盛。據唐釋智升《開元釋教錄·入藏錄》記載，當時入藏的經、律、論三藏的漢譯佛典已有1076部5048卷。隨著佛經數量的增加，佛典中音譯、意譯的梵文名詞也增多了，非常需要一些專門釋解佛典文字音義的書籍。這種書南北朝時曾有一部，即北齊僧人道慧編的《一切經音義》，其書現已亡佚。至唐代為佛經文字作音義的書籍增多，唐太宗時長安大慈恩寺的翻譯僧玄應編撰的《一切經音義》，是現存註釋佛經音義書籍中最早的一部。
玄應大約與玄奘同時，他從454部佛經中按原書卷次摘選詞語，注以音義。除選釋佛經中特有的梵文詞語外，也選釋一般的漢語文字音義和較冷僻的字詞，約佔全書內容的1/2。因此，它不僅是一部註解佛經音義的詞典，也是一部解釋漢語，主要是中國古字、詞的書籍。但它對音義的註釋，注音重於釋義，而釋義有的又不夠準確，內容有重複，詳略不當，體例不夠完善。玄應之後，唐憲宗時，慧琳(公元736—820年)撰《一切經音義》100卷，亦稱《慧琳音義》，一名《大藏音義》。
《慧琳音義》的作者慧琳是唐代長安西明寺翻譯僧(一說為大興善寺法師)，俗姓裴，西域疏勒國(今新疆喀什市)人，是密宗高僧印度不空法師的弟子。他深得印度聲明之妙，又精通中國文字訓詁聲韻之學，懂梵語和西域語言。慧琳於唐德宗建中四年(公元783年)開始編著《音義》，到憲宗元和二年(公元807年)完成，費時25年(一說寫作時間是德宗貞元四年至憲宗元和五年)。
書中所釋佛經從大乘的《大般若經》至小乘的《護命放生法》共1300部，5700餘卷。其中300多部經的音義是玄應、窺基、慧苑、雲公等人所作《音義》的重訂、刪補或轉錄。另有100多部經只有書名而無音義。其餘800餘部經的音義是慧琳本人所撰。這是一部集佛經訓詁之大成的作品，全書約60萬字。書稿問世後，“京邑之間，一皆宗仰”(《宋高僧傳》卷五)。
《慧琳音義》的特點《慧琳音義》主要根據《說文》、《字林》、《玉篇》、《字統》、《古今正字》、《文字典說》、《開元文字音義》七部書解釋字義；參照《韻英》、《韻銓》、《考聲切韻》等書注音；不見於這些字書、韻書的，就廣泛徵引經傳注疏，達251種之多。書中每條解釋都先註音切，再引書證解釋字義；有的還辨析文字形體，或引用當時語言加以說明。例如，卷八十二《西域記》第三卷的音義：
確不從命上苦角反，《易·繫辭》：確，堅也。 《埤蒼》從土作塙。 《文字典說》從石，從摧省聲。摧音角。
《慧琳音義》的解說，不僅是它以前各家佛經音義的繼承和補充，而且在它廣泛引用的各種古籍中，有許多是久已散失的字書、韻書和各家註解。例如書中引用《說文解字》的解釋，有的是今本所沒有的；再如引用今本《玉篇》已刪去的顧野王的按語。它所引用的各家已亡佚的註解，像：漢代包鹹的注，鄭眾的《考工記》注，賈逵、服虔的《春秋傳》注，許慎的《淮南子》注，賈逵的《國語》注；魏孫炎的《爾雅》注；晉司馬彪的注等。古代辭書中，保存的古佚文內容之豐富，徵引的古籍種類之多，未有在其右者。
《慧琳音義》的流傳《慧琳音義》成書後，稿本收藏在京師西明寺，後亡佚於唐末、五代的戰亂中。另在北方有存本，宋初尚保存完好。遼聖宗統和五年(公元987年)燕京沙門希麟根據該本增補而撰《續一切經音義》。明天順年間，《慧琳音義》和《續一切經音義》由高麗重新刻版；清乾隆初年日本也有了這兩部書的翻印本，但國內並不知曉，以為已失傳。清光緒初年中日通使，高麗和日本的刻本傳回中國，才為國內學者所聞知，民國十三年(1924年)丁福保據日本獅谷白蓮社1737年翻刻本影印。
僧人為佛典作音義，原本是為了“正名”、“顯教”，所以玄應、慧琳、希麟的三種《一切經音義》都是以佛典各書為單位收輯解釋字詞，這有助於我們了解佛經文字的原義，但從字典的角度來看，查檢非常不方便。 1936年，北京大學研究院文史部編印了《慧琳一切經音義引用書索引》，把《慧琳音義》和希麟續作中所引各種書的解說加以匯集，列出目錄，按筆劃多少先後排列，又註明它們在《音義》中的條目、卷數、頁數、經的捲次，為查閱這兩部書的引文提供方便(然而還是不能靠它來查找兩部《音義》的字詞)。不久前印行的《正續一切經音義》一書，除附上述索引外，還附有清末陳作霖所編《一切經音義通檢》，將所收詞條按字頭排列查檢，對查找該書字詞頗有裨益。